採(cǎi)用雷射共軛焦、白光干涉、Focus Variation 3種不同掃描原理的「三重掃描方式」。以高精度量測(cè)、分析各種目標(biāo)物。實(shí)現(xiàn)最高解析度0.01 nm，奈米等級(jí)微小形狀變化也可正確量測(cè)。最大掃描區(qū)域50 mm平方，大的凹凸?手掌大小的目標(biāo)物可完整掃描全貌與部分形狀皆可一臺(tái)掌握。對(duì)於鏡面體?透明體等難度高的材質(zhì)，可高速、高精度、大範(fàn)圍量測(cè)。高倍率/低倍率、平面/凹凸/表面粗糙度、鏡面/透明等目標(biāo)物不受限的全新雷射顯微鏡。
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