形狀公差係指決定目標(biāo)物（零件）形狀的基本幾何公差。
游標(biāo)卡尺、測微計(jì)及高度規(guī)等簡易配備，可量測正直、圓度、平坦及輪廓等數(shù)值。
三次元測量儀量測的優(yōu)點(diǎn)則在於高精度量測、快度、高穩(wěn)定性，以及能將取得資料進(jìn)行分析等。