相對於尺寸特性是量測2點之間的直線距離，幾何特性是量測「圓度」、「正直度」及「起伏」等形狀，因此使用游標卡尺或測微計等測量儀器，難以量測2點之間距離。量測幾何公差時，需要量測形狀的測量儀器及儀器，而這些測量儀的精度、操作性及價格也不盡相同。
量測幾何特性的器具及儀器可以分為以下類別，在此介紹適合幾何特性量測的器具及儀器。
平板、千分錶、V型塊規(guī)、高度規(guī)、極限量規(guī)／功能量規(guī)（位置量規(guī)）
正圓形度測量儀、三次元測量儀
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